1. Բազմածավալ գազի համակարգի սահմանում.
Իներտ գազերի պահպանում և ճնշման կարգավորում։ Գազերի տեսակներ՝ տիպիկ իներտ գազեր (ազոտ, արգոն, սեղմված օդ և այլն):
Խողովակաշարի չափսը՝ 1/4-ից (մոնիթորինգի խողովակաշար) մինչև 12 դյույմանոց գլխավոր խողովակաշար
Համակարգի հիմնական արտադրանքն են՝ դիաֆրագմային փական/փչփային փական/գնդիկավոր փական, բարձր մաքրության միակցիչ (տեսաձողային, եռակցման ձև), ֆլեյրային միակցիչ, ճնշման կարգավորիչ փական, ճնշման չափիչ և այլն։
Ներկայումս նոր համակարգը ներառում է նաև մեծածախ հատուկ գազի համակարգ, որն օգտագործում է ֆիքսված գազի բալոններ կամ ցիստեռններ պահեստավորման և տեղափոխման համար։
2. Մաքրման համակարգի սահմանում.
Բարձր մաքրության գազատարների համար նախատեսված գազատարներից խառնուրդների հեռացում
3. Գազային պահարաններ Սահմանում.
Ապահովել ճնշման կառավարում և հոսքի մոնիթորինգ հատուկ գազային աղբյուրների համար (թունավոր, դյուրավառ, ռեակտիվ, քայքայիչ գազեր) և ունենալ գազի բալոնները փոխարինելու հնարավորություն։
Տեղակայություն՝ Գտնվում է ենթաֆաբրիկայի հարկում կամ ստորին հարկում՝ հատուկ գազերի պահեստավորման համար։ Աղբյուր՝ NF3, SF6, WF6 և այլն։
Խողովակաշարի չափը. Ներքին գազատար, սովորաբար 1/4 դյույմ՝ տեխնոլոգիական խողովակաշարի համար, 1/4-3/8 դյույմ՝ հիմնականում բարձր մաքրության ազոտով մաքրման խողովակաշարի համար։
Հիմնական արտադրանք՝ Բարձր մաքրության դիֆրագմային փականներ, հակադարձ փականներ, ճնշման չափիչներ, ճնշման չափիչներ, բարձր մաքրության միակցիչներ (տեսաձող, եռակցման ձև): Այս գազային պահարանները հիմնականում պարունակում են բալոնների ավտոմատ անջատման հնարավորություններ՝ գազի անընդհատ մատակարարումն ու բալոնների անվտանգ փոխարինումն ապահովելու համար:
4. Բաշխման սահմանում.
Գազի աղբյուրը գազի հավաքման կծիկին միացնելը
Գծի չափը. Չիպերի գործարանում գազի բաշխման խողովակաշարի չափը սովորաբար տատանվում է 1/2 դյույմից մինչև 2 դյույմ:
Միացման ձևը. Հատուկ գազատարները սովորաբար միացվում են եռակցման միջոցով՝ առանց որևէ մեխանիկական միացման կամ այլ շարժական մասերի, հիմնականում այն պատճառով, որ եռակցման միացումը ունի ամուր կնքման հուսալիություն:
Չիպերի գործարանում գազը փոխանցելու համար կան հարյուրավոր կիլոմետրեր երկարությամբ խողովակներ, որոնք հիմնականում մոտ 20 ոտնաչափ երկարություն ունեն և եռակցված են միմյանց: Որոշ խողովակների ծռվածքներ և խողովակային եռակցման միացումներ նույնպես շատ տարածված են:
5. Բազմաֆունկցիոնալ փականային տուփ (Valve Manifold Box, VMB) Սահմանում.
Այն նախատեսված է գազի աղբյուրից տարբեր սարքավորումների ծայրերին հատուկ գազեր բաշխելու համար։
Ներքին խողովակաշարի չափսը՝ 1/4 դյույմ պրոցեսային խողովակաշար և 1/4 - 3/8 դյույմ մաքրման խողովակաշար։ Համակարգը կարող է օգտագործել համակարգչային կառավարում՝ ակտիվացվող փականներ կամ ձեռքով փականներով ավելի ցածր գնով իրավիճակներ պահանջելու համար։
Համակարգային արտադրանք՝ բարձր մաքրության դիաֆրագմային փականներ/փչակավոր փականներ, հակադարձ փականներ, բարձր մաքրության միացումներ (տեսաձողիչ, միկրոեռակցման ձև), ճնշման կարգավորիչ փականներ, ճնշման չափիչներ և ճնշման չափիչներ և այլն: Որոշ իներտ գազերի բաշխման համար հիմնականում օգտագործվում է Valve Manifold Panel - VMP (բազմաֆունկցիոնալ փականի սկավառակ), որն ունի բաց գազային սկավառակի մակերես և չի պահանջում փակ տարածության նախագծում և լրացուցիչ ազոտի մաքրում:
6. Երկրորդային փականի թիթեղ/տուփ (գործիքի միացման վահանակ) Սահմանում.
Միացրեք կիսահաղորդչային սարքավորումների համար անհրաժեշտ գազը գազի աղբյուրից սարքավորումների ծայրին և ապահովեք համապատասխան ճնշման կարգավորումը: Այս վահանակը գազի կառավարման համակարգ է, որն ավելի մոտ է սարքավորումների ծայրին, քան VMB-ն (բազմաֆունկցիոնալ փականի տուփ):
Գազատարի չափսը՝ 1/4 - 3/8 դյույմ
Հեղուկի խողովակաշարի չափսը՝ 1/2 - 1 դյույմ
Արտանետման խողովակաշարի չափը՝ 1/2 - 1 դյույմ
Հիմնական արտադրանք՝ դիաֆրագմային փական/փչփորային փական, միակողմանի փական, ճնշման կարգավորիչ փական, ճնշման չափիչ, ճնշման չափիչ, բարձր մաքրության միացում (տեսաձողային տեսաերիզ, միկրոեռակցում), ֆլեյրային միացում, գնդիկավոր փական, խողովակ և այլն։
Հրապարակման ժամանակը. Նոյեմբերի 22, 2024