1. Զանգվածային գազի համակարգի սահմանում.
Իներտ գազերի պահպանման և ճնշման վերահսկում Գազի տեսակները. Տիպիկ իներտ գազեր (ազոտ, արգոն, սեղմված օդ և այլն)
Խողովակաշարի չափսը՝ 1/4-ից (մոնիթորինգային խողովակաշար) մինչև 12 դյույմ հիմնական խողովակաշար
Համակարգի հիմնական արտադրանքներն են՝ դիֆրագմային փական/փեղկավոր փական/գնդիկավոր փական, բարձր մաքրության միակցիչ (VCR, եռակցման ձև), լաստանավի միակցիչ, ճնշումը կարգավորող փական, ճնշման չափիչ և այլն։
Ներկայումս նոր համակարգը ներառում է նաև զանգվածային հատուկ գազային համակարգ, որն օգտագործում է ֆիքսված գազի բալոններ կամ բեռնատար մեքենաներ պահեստավորման և տեղափոխման համար:
2. Մաքրման համակարգի սահմանում.
Բարձր մաքրության գազատարների համար զանգվածային գազերից կեղտերի հեռացում
3. Գազի պահարաններ Սահմանում.
Ապահովել ճնշման վերահսկում և հոսքի մոնիտորինգ հատուկ գազի աղբյուրների համար (թունավոր, դյուրավառ, ռեակտիվ, քայքայիչ գազեր) և ունեն գազի բալոնները փոխարինելու հնարավորություն:
Գտնվելու վայրը. Գտնվում է Sub-Fab հատակին կամ ներքևի հատակին հատուկ գազերի պահեստավորման համար Աղբյուրը` NF3, SF6, WF6 և այլն:
Խողովակաշարի չափս. Ներքին գազատար, ընդհանուր առմամբ 1/4 դյույմ պրոցեսի խողովակաշարի համար, 1/4-3/8 դյույմ հիմնականում բարձր մաքրության ազոտի մաքրման խողովակաշարի համար:
Հիմնական արտադրանք.
4. Բաշխման սահմանում.
Գազի աղբյուրի միացում գազի հավաքման կծիկին
Գծի չափս. Չիպերի գործարանում գազաբաշխիչ գազատարի չափերը սովորաբար տատանվում են 1/2 դյույմից մինչև 2 դյույմ:
Միացման ձև. Հատուկ գազատարները սովորաբար միացվում են եռակցման միջոցով, առանց որևէ մեխանիկական կապի կամ այլ շարժական մասերի, հիմնականում այն պատճառով, որ եռակցման միացումն ունի ամուր կնքման հուսալիություն:
Չիպերի գործարանում կան հարյուրավոր կիլոմետրանոց խողովակներ, որոնք միացված են գազ փոխանցելուն, որոնք հիմնականում ունեն մոտ 20 ֆուտ երկարություն և եռակցված միասին: Խողովակների որոշ թեքություններ և խողովակային եռակցման միացումներ նույնպես շատ տարածված են:
5. Բազմաֆունկցիոնալ փականի տուփ (Valve Manifold Box, VMB) Սահմանում.
Դա գազի աղբյուրից հատուկ գազեր բաշխելն է տարբեր սարքավորումների ծայրերին:
Ներքին խողովակաշարի չափսը՝ 1/4 դյույմ պրոցեսի խողովակաշար և 1/4 - 3/8 դյույմ մաքրման խողովակաշար: Համակարգը կարող է օգտագործել համակարգչային հսկողություն՝ գործարկվող փականներ կամ ձեռքով փականներով ավելի ցածր գնով իրավիճակներ պահանջելու համար:
Համակարգի արտադրանք. - Հիմնականում օգտագործվում է VMP (բազմաֆունկցիոնալ փականի սկավառակ), որն ունի բաց գազի սկավառակի մակերես և չի պահանջում փակ տարածություն։ դիզայն և լրացուցիչ ազոտի մաքրում:
6. Երկրորդային փականի ափսե/տուփ (Tool Hookup Panel) Սահմանում.
Կիսահաղորդչային սարքավորումների համար պահանջվող գազը գազի աղբյուրից միացրեք սարքավորման ծայրին և ապահովեք համապատասխան ճնշման կարգավորում: Այս վահանակը գազի կառավարման համակարգ է, որն ավելի մոտ է սարքավորման ավարտին, քան VMB-ը (բազմաֆունկցիոնալ փականի տուփ):
Գազատարի չափսը՝ 1/4 - 3/8 դյույմ
Հեղուկ խողովակաշարի չափը՝ 1/2 - 1 դյույմ
Արտանետման խողովակաշարի չափը՝ 1/2 - 1 դյույմ
Հիմնական արտադրանքները՝ դիֆրագմային փական/փեղկավոր փական, միակողմանի փական, ճնշումը կարգավորող փական, ճնշման չափիչ, ճնշման չափիչ, բարձր մաքրության միացում (VCR, միկրոեռակցում), լաստանավային միացում, գնդիկավոր փական, գուլպաներ և այլն:
Հրապարակման ժամանակը՝ նոյ-22-2024