Բարձր մաքրության գազատարների նշանակությունը կիսահաղորդիչների համար

As կիսահաղորդիչԵվ միկրոէլեկտրոնային տեխնոլոգիաների զարգացմանը զուգընթաց՝ էլեկտրոնային հատուկ գազերի մաքրության նկատմամբ դրվում են ավելի բարձր պահանջներ: Բարձր մաքրության գազատարների տեխնոլոգիան բարձր մաքրության գազի մատակարարման համակարգի կարևոր մասն է կազմում: Այն հիմնական տեխնոլոգիա է բարձր մաքրության գազեր մատակարարելու համար, որոնք համապատասխանում են գազի օգտագործման կետերի պահանջներին՝ միաժամանակ պահպանելով որակյալ որակը:

Բարձր մաքրության խողովակաշարերի տեխնոլոգիան ներառում է համակարգի ճիշտ նախագծումը, խողովակաշարային կցամասերի և օժանդակ նյութերի ընտրությունը, շինարարությունը, տեղադրումը և փորձարկումը։

01 Գազի փոխանցման խողովակաշարերի ընդհանուր հայեցակարգը

Բոլոր բարձր մաքրության և մաքրության գազերը պետք է խողովակաշարերի միջոցով տեղափոխվեն գազի վերջնական կետ։ Գազի որակի պահանջները բավարարելու համար, երբ գազի արտահանման ցուցանիշը որոշակի է, ավելի անհրաժեշտ է ուշադրություն դարձնել խողովակաշարային համակարգի նյութի ընտրությանը և կառուցման որակին։ Գազի արտադրության կամ մաքրման սարքավորումների ճշգրտությունից բացի, դրա վրա մեծապես ազդում են խողովակաշարային համակարգի բազմաթիվ գործոններ։ Հետևաբար, խողովակների ընտրությունը պետք է կատարվի մաքրման արդյունաբերության համապատասխան սկզբունքների պահպանմամբ և խողովակների նյութը նշվի գծագրերում։

02 Բարձր մաքրության խողովակաշարերի նշանակությունը գազի փոխադրման մեջ

Բարձր մաքրության խողովակաշարերի նշանակությունը բարձր մաքրության գազի փոխադրման մեջ։ Չժանգոտվող պողպատի հալման գործընթացում յուրաքանչյուր տոննա կարող է կլանել մոտ 200 գ գազ։ Չժանգոտվող պողպատի մշակումից հետո ոչ միայն տարբեր աղտոտիչներ են կպչում դրա մակերեսին, այլև որոշակի քանակությամբ գազ է կլանվում դրա մետաղական ցանցում։ Երբ խողովակաշարով անցնում է օդային հոսք, մետաղի կողմից կլանված գազի մի մասը կրկին կմտնի օդային հոսքի մեջ և կաղտոտի մաքուր գազը։

Երբ խողովակում օդի հոսքը անընդհատ է, խողովակը ճնշման ադսորբցիա է առաջացնում անցնող գազի վրա: Երբ օդի հոսքը դադարում է անցնել, խողովակի կողմից ադսորբված գազը ձևավորում է ճնշման նվազեցման վերլուծություն, և վերլուծված գազը նույնպես մտնում է խողովակի մաքուր գազի մեջ որպես խառնուրդ:

Միևնույն ժամանակ, ադսորբցիայի և վերլուծության ցիկլը կհանգեցնի խողովակի ներքին մակերեսին գտնվող մետաղի կողմից որոշակի քանակությամբ փոշու առաջացմանը: Այս մետաղական փոշու մասնիկը նաև աղտոտում է խողովակի մեջ գտնվող մաքուր գազը: Խողովակի այս բնութագիրը շատ կարևոր է: Փոխադրվող գազի մաքրությունն ապահովելու համար անհրաժեշտ է ոչ միայն, որ խողովակի ներքին մակերեսը ունենա չափազանց բարձր հարթություն, այլև բարձր մաշվածության դիմադրություն:

Երբ գազն ունի ուժեղ կոռոզիոն հատկություններ, խողովակաշարերի համար պետք է օգտագործվեն կոռոզիակայուն չժանգոտվող պողպատե խողովակներ: Հակառակ դեպքում, կոռոզիայի պատճառով խողովակի ներքին մակերեսին կհայտնվեն կոռոզիոն բծեր: Ծանր դեպքերում մետաղի մեծ կտորները կպոկվեն կամ նույնիսկ կծակվեն՝ այդպիսով աղտոտելով տեղափոխվող մաքուր գազը:

03 Խողովակի նյութ

Խողովակի նյութի ընտրությունը պետք է կատարվի օգտագործման կարիքներին համապատասխան։ Խողովակի որակը սովորաբար չափվում է խողովակի ներքին մակերեսի կոպտությամբ։ Որքան ցածր է կոպտությունը, այնքան քիչ է մասնիկների տեղափոխման հավանականությունը։ Ընդհանուր առմամբ, այն բաժանվում է երեք տեսակի՝

ՄեկըEP դասի 316L խողովակ, որը էլեկտրոլիտիկորեն հղկվել է (Electro-Polish): Այն կոռոզիակայուն է և ունի ցածր մակերեսային կոպտություն: Rmax-ը (գագաթից մինչև հովիտ առավելագույն բարձրությունը) մոտ 0.3 մկմ կամ պակաս է: Այն ունի ամենաբարձր հարթությունը և հեշտ չէ առաջացնել միկրո-շրջադարձային հոսանքներ: Հեռացրեք աղտոտված մասնիկները: Գործընթացում օգտագործվող ռեակցիայի գազը պետք է խողովակաշարով մատակարարվի այս մակարդակում:

Մեկը մի էԲակալավրի աստիճան 316LԽողովակ, որը մշակվել է Bright Anneal-ով և հաճախ օգտագործվում է չիպի հետ շփվող, բայց պրոցեսային ռեակցիային չմասնակցող գազերի համար, ինչպիսիք են GN2-ը և CDA-ն: Դրանցից մեկը AP խողովակն է (Annealing & Picking), որը հատուկ մշակված չէ և սովորաբար օգտագործվում է արտաքին խողովակների կրկնակի հավաքածուների համար, որոնք չեն օգտագործվում որպես գազի մատակարարման գծեր:

04 Խողովակաշարի կառուցում

Խողովակի բերանի մշակումը այս շինարարական տեխնոլոգիայի հիմնական կետերից մեկն է: Խողովակաշարի կտրումը և նախապատրաստումը կատարվում են մաքուր միջավայրում, և միևնույն ժամանակ, կտրելուց առաջ խողովակաշարի մակերեսին վնասակար հետքեր կամ վնասվածքներ չկան: Խողովակաշարի բացումից առաջ պետք է նախապատրաստական ​​​​աշխատանքներ կատարվեն խողովակաշարում ազոտի լվացման համար: Սկզբունքորեն, եռակցումը օգտագործվում է բարձր մաքրության և բարձր մաքրության գազի փոխանցման և բաշխման մեծ հոսք ունեցող խողովակաշարերը միացնելու համար, բայց ուղղակի եռակցումը թույլատրելի չէ: Պետք է օգտագործվեն պատյանային միացումներ, և օգտագործվող խողովակի նյութը պետք է չփոխի կառուցվածքը եռակցման ընթացքում: Եթե ​​եռակցվում է չափազանց բարձր ածխածնի պարունակությամբ նյութ, եռակցման մասի օդաթափանցելիությունը կհանգեցնի խողովակի ներսում և դրսում գազի ներթափանցմանը միմյանց մեջ՝ խաթարելով փոխանցող գազի մաքրությունը, չորությունը և մաքրությունը, ինչը կհանգեցնի լուրջ հետևանքների և կազդի արտադրության որակի վրա:

Ամփոփելով՝ բարձր մաքրության գազի և հատուկ գազափոխադրման խողովակաշարերի համար պետք է օգտագործվի հատուկ մշակված բարձր մաքրության չժանգոտվող պողպատե խողովակ, ինչը բարձր մաքրության խողովակաշարային համակարգը (ներառյալ խողովակաշարերը, խողովակաշարային միացումները, փականները, VMB-ն, VMP-ն) դարձնում է կարևորագույն առաքելություն բարձր մաքրության գազի բաշխման գործում։