Բարձր մաքրության գազատարի նշանակությունը կիսահաղորդիչներին

As կիսահաղորդչև միկրոէլեկտրոնային տեխնոլոգիաները զարգանում են դեպի բարձր արդյունավետություն և ավելի բարձր ինտեգրում, ավելի բարձր պահանջներ են դրվում էլեկտրոնային հատուկ գազերի մաքրության վրա: Բարձր մաքրության գազի խողովակաշարերի տեխնոլոգիան բարձր մաքրության գազամատակարարման համակարգի կարևոր մասն է: Դա բարձր մաքրության գազերի մատակարարման հիմնական տեխնոլոգիան է, որը համապատասխանում է գազի օգտագործման կետերի պահանջներին՝ միաժամանակ պահպանելով որակյալ որակը:

Բարձր մաքրության խողովակաշարի տեխնոլոգիան ներառում է համակարգի ճիշտ ձևավորում, խողովակների կցամասերի և օժանդակ նյութերի ընտրություն, շինարարություն և տեղադրում և փորձարկում:

01 Գազի փոխանցման խողովակաշարի ընդհանուր հայեցակարգ

Բոլոր բարձր մաքրության և բարձր մաքրության գազերը պետք է խողովակաշարերով տեղափոխվեն տերմինալ գազի կետ: Գազի գործընթացի որակի պահանջները բավարարելու համար, երբ գազի արտահանման ինդեքսը որոշակի է, ավելի շատ անհրաժեշտ է ուշադրություն դարձնել խողովակաշարային համակարգի նյութի ընտրությանը և շինարարության որակին: Բացի գազի արտադրության կամ մաքրման սարքավորումների ճշգրտությունից, դրա վրա մեծապես ազդում են խողովակաշարային համակարգի բազմաթիվ գործոններ: Հետևաբար, խողովակների ընտրությունը պետք է համապատասխանի մաքրման արդյունաբերության համապատասխան սկզբունքներին և գծագրերում նշի խողովակների նյութը:

02 Բարձր մաքրության խողովակաշարերի նշանակությունը գազի փոխադրման մեջ

Բարձր մաքրության խողովակաշարերի նշանակությունը բարձր մաքրության գազի փոխադրման մեջ Չժանգոտվող պողպատի ձուլման գործընթացում յուրաքանչյուր տոննա կարող է կլանել մոտ 200 գ գազ: Չժանգոտվող պողպատը մշակելուց հետո ոչ միայն զանազան աղտոտիչներ են խրվում դրա մակերեսին, այլև որոշակի քանակությամբ գազ ներծծվում է դրա մետաղական ցանցում: Երբ խողովակաշարով անցնող օդի հոսք կա, մետաղի կողմից կլանված գազի մի մասը նորից կմտնի օդի հոսք և կաղտոտի մաքուր գազը:

Երբ խողովակում օդի հոսքը ընդհատվում է, խողովակը ճնշում է կլանում անցնող գազի վրա: Երբ օդի հոսքը դադարում է անցնել, խողովակի կողմից կլանված գազը ձևավորում է ճնշման նվազեցման վերլուծություն, և վերլուծված գազը նույնպես մտնում է խողովակի մաքուր գազը որպես կեղտ:

Միևնույն ժամանակ, կլանման և վերլուծության ցիկլը կհանգեցնի նրան, որ խողովակի ներքին մակերեսի մետաղը որոշակի քանակությամբ փոշի կարտադրի: Մետաղական փոշու այս մասնիկը նույնպես աղտոտում է խողովակի մաքուր գազը: Խողովակի այս հատկանիշը շատ կարևոր է: Փոխադրվող գազի մաքրությունն ապահովելու համար ոչ միայն պահանջվում է, որ խողովակի ներքին մակերեսը ունենա չափազանց բարձր հարթություն, այլև այն ունենա բարձր մաշվածության դիմադրություն։

Երբ գազն ունի ուժեղ քայքայիչ հատկություններ, խողովակաշարերի համար պետք է օգտագործվեն կոռոզիոն դիմացկուն չժանգոտվող պողպատից խողովակներ: Հակառակ դեպքում կոռոզիայից խողովակի ներքին մակերեսին կոռոզիոն բծեր կհայտնվեն: Ծանր դեպքերում մետաղի մեծ կտորները կկլպվեն կամ նույնիսկ ծակվեն՝ դրանով իսկ աղտոտելով տեղափոխվող մաքուր գազը:

03 Խողովակների նյութ

Խողովակի նյութի ընտրությունը պետք է ընտրվի ըստ օգտագործման կարիքների: Խողովակի որակը հիմնականում չափվում է խողովակի ներքին մակերեսի կոշտության համաձայն: Որքան ցածր է կոպտությունը, այնքան քիչ հավանական է, որ այն կրի մասնիկներ: Ընդհանուր առմամբ բաժանվում է երեք տեսակի.

Մեկն էEP կարգի 316L խողովակ, որը հղկվել է էլեկտրոլիտիկ եղանակով (էլեկտրո-լեհերեն)։ Այն կոռոզիակայուն է և ունի մակերեսի ցածր կոշտություն: Rmax-ը (գագաթնակետից մինչև հովտի առավելագույն բարձրությունը) մոտ 0,3 մկմ է կամ ավելի քիչ: Այն ունի ամենաբարձր հարթությունը և հեշտ չէ ձևավորել միկրո-պտղային հոսանքներ: Հեռացրեք աղտոտված մասնիկները: Գործընթացում օգտագործվող ռեակցիայի գազը պետք է խողովակաշարով անցնի այս մակարդակով:

Մեկը աBA դասարան 316Lխողովակ, որը մշակվել է Bright Anneal-ի կողմից և հաճախ օգտագործվում է գազերի համար, որոնք շփվում են չիպի հետ, բայց չեն մասնակցում գործընթացի ռեակցիային, ինչպիսիք են GN2-ը և CDA-ն: Մեկը AP խողովակն է (Annealing & Picking), որը հատուկ մշակված չէ և սովորաբար օգտագործվում է արտաքին խողովակների կրկնակի հավաքածուների համար, որոնք չեն օգտագործվում որպես գազամատակարարման գծեր:

04 Խողովակաշարի կառուցում

Խողովակի բերանի մշակումը այս շինարարական տեխնոլոգիայի առանցքային կետերից մեկն է: Խողովակաշարի կտրումն ու նախապատրաստումն իրականացվում է մաքուր միջավայրում, և միևնույն ժամանակ երաշխավորվում է, որ խողովակաշարի մակերևույթին մինչև կտրելը վնասակար հետքեր կամ վնասներ չլինեն։ Խողովակաշարում ազոտի լվացման նախապատրաստական ​​աշխատանքները պետք է կատարվեն նախքան խողովակաշարը բացելը: Սկզբունքորեն, եռակցումը օգտագործվում է բարձր մաքրության և մաքրության բարձր հոսքով գազի փոխանցման և բաշխման խողովակաշարերը միացնելու համար, սակայն ուղղակի եռակցումը չի թույլատրվում: Պետք է օգտագործվեն պատյանների միացումներ, իսկ օգտագործվող խողովակի նյութը պետք է եռակցման ընթացքում կառուցվածքի փոփոխություն չունենա: Եթե ​​չափազանց բարձր ածխածնի պարունակությամբ նյութը եռակցվում է, ապա եռակցման մասի օդաթափանցելիությունը կհանգեցնի խողովակի ներսում և դրսից գազի ներթափանցմանը միմյանց՝ ոչնչացնելով փոխանցող գազի մաքրությունը, չորությունը և մաքրությունը, ինչը կհանգեցնի լուրջ հետևանքների։ և ազդել արտադրության որակի վրա:

Ամփոփելով, բարձր մաքրության գազի և հատուկ գազի փոխանցման խողովակաշարերի համար պետք է օգտագործվի հատուկ մշակված բարձր մաքրության չժանգոտվող պողպատից խողովակ, որը ստիպում է բարձր մաքրության խողովակաշարերի համակարգը (ներառյալ խողովակաշարերը, խողովակների կցամասերը, փականները, VMB, VMP) զբաղեցնել կենսական առաքելություն բարձր մաքրության գազի բաշխման գործում: